[发明专利]一种中性铜蚀刻液及其制备方法在审
| 申请号： | 202110973776.1 | 申请日： | 2021-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN113667978A | 公开（公告）日： | 2021-11-19 |
| 发明（设计）人： | 刘岩峰;陈继航 | 申请（专利权）人： | 青岛爱大生环保科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/14 | 分类号： | C23F1/14;C23F1/44 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266000 山东省青岛*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种中性铜蚀刻液及其制备方法，属于湿膜蚀刻电子化学品领域，所述中性蚀刻液的pH值为6‑8，以重量计由下述组分配制而成：醋酸3‑10％、铜盐1‑5％、络合剂1‑10％、缓蚀剂1‑6％、pH值调节剂5‑15％、表面活性剂0.1‑5％及余量去离子水。本发明的中性铜蚀刻液能够对铜或铜合金进行选择性的均匀蚀刻，在精细部位没有残渣，并且能不腐蚀基板上的电子部件、各种层叠膜等。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 中性 蚀刻 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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