[发明专利]一种用于离轴缩束光学系统的装调装置与装调方法有效
| 申请号： | 202110973784.6 | 申请日： | 2021-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN113777797B | 公开（公告）日： | 2023-09-26 |
| 发明（设计）人： | 李响;孙梓庭;宋延嵩;高亮;安岩;董岩 | 申请（专利权）人： | 长春理工大学 |
| 主分类号： | G02B27/62 | 分类号： | G02B27/62 |
| 代理公司： | 哈尔滨市阳光惠远知识产权代理有限公司 23211 | 代理人： | 王海婷 |
| 地址： | 130012 *** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于离轴缩束光学系统的装调装置与装调方法，装置包括ZYGO干涉仪、离轴缩束装调子系统、离轴缩束光学系统、方位俯仰台和基准反射镜；离轴缩束光学系统包括离轴次镜室、离轴次镜、主框架、离轴主镜和离轴主镜室，主框架固定在方位俯仰台上；离轴缩束装调子系统包括侧面工装和正面工装，侧面工装带动正面工装进行平移运动，正面工装带动离轴次镜进行转动、俯仰运动及平移运动；ZYGO干涉仪位于离轴主镜前，基准反射镜位于离轴次镜前，ZYGO干涉仪的出射光与主框架上的入光口重合。本发明解决了传统装调装置和方法难以对离轴光学系统在保证镜室能够安装上主框架的前提下，提升装调效率，批量化生产的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 离轴缩束 光学系统 装置 方法 | ||
【主权项】：
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