[发明专利]一种酸性蚀刻液闭环再生的方法及系统在审
| 申请号： | 202110974744.3 | 申请日： | 2021-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN113667980A | 公开（公告）日： | 2021-11-19 |
| 发明（设计）人： | 张伟奇;李再强;黄文涛;梁民 | 申请（专利权）人： | 深圳市祺鑫环保科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/46 | 分类号： | C23F1/46;C25C7/06;C25C7/00;C25C7/04;C25C1/12;C23F1/18 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 王艳斋 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区福海*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种酸性蚀刻液闭环再生的方法及系统，所述方法通过将三室电解装置中阴极室内电解后的酸性蚀刻废液转移至第二阳极室，进行三室电解，能够在再生酸性蚀刻废液的同时回收铜，并避免氯气产生。所述系统装置包括一个通过在第一阳极室与阴极室之间设置阳离子交换膜，以及阴极室内阳离子浓度检测装置，第二阳极室内氧化还原参数检测装置的设置，实现了检测装置与自动控制系统的连用，能够自动化生产，适用于含有多种金属阳离子的废液进行再生，应用范围广。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 酸性 蚀刻 闭环 再生 方法 系统 | ||
【主权项】：
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