[发明专利]接合装置在审
| 申请号： | 202110979225.6 | 申请日： | 2021-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN114156422A | 公开（公告）日： | 2022-03-08 |
| 发明（设计）人： | 刘起相;高京禄;金荣洙;刘宰硕;崔正燮 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | H01L51/56 | 分类号： | H01L51/56;H01L27/32 |
| 代理公司： | 北京钲霖知识产权代理有限公司 11722 | 代理人： | 李英艳;冯志云 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种接合装置，包括：支撑件，在所述支撑件中限定多个通孔；隔膜，设置在所述支撑件上以覆盖所述支撑件；施压垫，设置在位于所述支撑件的顶表面上方的所述隔膜上；以及窗固定卡盘，设置在所述施压垫上，并且在所述窗固定卡盘中限定面对所述施压垫的凹槽。在此，所述施压垫包括：垫；和至少一个支撑杆，设置在所述垫中并且在第一方向上延伸。 | ||
| 搜索关键词： | 接合 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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