[发明专利]光罩缺陷检测方法、装置、电子设备、存储介质及芯片有效
| 申请号： | 202110979798.9 | 申请日： | 2021-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN113674250B | 公开（公告）日： | 2023-10-20 |
| 发明（设计）人： | 李树平;宋文康 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06T5/50 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 张竞存;张颖玲 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请公开了一种光罩缺陷检测方法、装置、电子设备、存储介质及芯片，属于半导体技术领域，其中，光罩缺陷检测方法包括：获取光罩的生产级电子束曝光系统文件；检测生产级电子束曝光系统文件中任意图案的标识，得到基准图案；调用生产级电子束曝光系统的异或运算功能，对比待检测图案与基准图案是否相同，待检测图案为与基准图案重复的图案。该方法实现了光罩缺陷的自动化检测，能够节省人力成本，并且该检测方法结果准确。 | ||
| 搜索关键词： | 缺陷 检测 方法 装置 电子设备 存储 介质 芯片 | ||
【主权项】：
暂无信息
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