[发明专利]金属有机化学气相沉积设备及其使用方法在审
| 申请号： | 202110983017.3 | 申请日： | 2021-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN113913927A | 公开（公告）日： | 2022-01-11 |
| 发明（设计）人： | 袁将峰;招晨;刘华明 | 申请（专利权）人： | 华灿光电（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/08 | 分类号： | C30B25/08;C30B25/10;C30B25/12;C30B25/14;C23C16/455;C23C16/458;C23C16/46 |
| 代理公司： | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人： | 吕耀萍 |
| 地址： | 215600 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本公开提供了一种金属有机化学气相沉积设备及其使用方法，属于外延生长技术领域。调节部件为一端与反应腔的顶部相连的环形挡板，环形挡板的内周壁与外周壁均为光滑柱面，在环形挡板的内周壁去除了气体缓冲环的存在，提高反应腔内气场的稳定性与分布均匀性。环形挡板整体套在加热部件外，且环形挡板的高度大于加热部件的高度而低于外延托盘的最小高度，反应腔内的气体的热量也会相对较为均匀，温度均匀传递至气体也可以提高气体的温场与流畅稳定性，代替缓冲环的导流作用。最终可以有效提高反应腔内的气流分布均匀度以及温度分布均匀度。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 有机化学 沉积 设备 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
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