[发明专利]一种调控非晶/非晶纳米多层膜加工硬化能力的方法在审
| 申请号： | 202110983339.8 | 申请日： | 2021-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN113802100A | 公开（公告）日： | 2021-12-17 |
| 发明（设计）人： | 王飞;黄平;黄丽 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C22C9/00;C22C27/02;C23C14/16 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 王艾华 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种调控非晶/非晶纳米多层膜加工硬化能力的方法，采用磁控溅射的方法沉积第一层5纳米厚的Zr |
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| 搜索关键词： | 一种 调控 纳米 多层 加工硬化 能力 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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