[发明专利]工件支承装置、工件处理装置、工件输送装置、工件支承方法及工件处理方法在审
| 申请号： | 202110984857.1 | 申请日： | 2021-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN114102370A | 公开（公告）日： | 2022-03-01 |
| 发明（设计）人： | 柏木诚;伊泽真于 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | B24B21/04 | 分类号： | B24B21/04;B24B21/18;B24B21/20;B24B41/06;B24B57/02;H01L21/683 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 张丽颖 |
| 地址： | 日本国东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的目的在与提供一种在使用伯努利吸盘支承工件时，能够维持吸附力，并且能够防止工件的表面的干燥的工件支承装置、工件处理装置、工件输送装置、工件支承方法及工件处理方法。工件支承装置(12)具备：通过喷射气体而产生吸引力的伯努利吸盘(14)；配置为包围伯努利吸盘(14)，并在伯努利吸盘(14)的周围排出液体的液体排出部件(13)。 | ||
| 搜索关键词： | 工件 支承 装置 处理 输送 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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