[发明专利]第三代半导体的生产设备节能方法及相关设备

摘要

本发明涉及生产设备节能技术领域，公开了一种第三代半导体的生产设备节能方法及相关设备。所述生产设备节能方法包括：获取生产设备的历史电力数据；基于所述历史电力数据，构建用于评价生产设备节能的多个评价指标；将所述多个评价指标输入预置主成分回归分析模型进行回归分析，得到多个综合指标；基于所述综合指标，对所述生产设备进行节能调节。本发明实现了第三代半导体制造业对生产设备的调度不再依赖操作人员经验，有效提高了生产设备的节能。