[发明专利]一种适用于细线路制作的环保型酸性蚀刻添加剂及其应用在审

专利信息
申请号: 202110991679.5 申请日: 2021-08-27
公开(公告)号: CN113430521A 公开(公告)日: 2021-09-24
发明(设计)人: 夏海;陈钜;韦金宇;李初荣 申请(专利权)人: 深圳市板明科技股份有限公司
主分类号: C23F1/18 分类号: C23F1/18;H05K3/06
代理公司: 深圳市精英专利事务所 44242 代理人: 李莹
地址: 518000 广东省深圳市宝*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明提供了一种适用于细线路制作的环保型酸性蚀刻添加剂,由护岸剂、湿润剂和水组成,所述湿润剂为饱和脂肪族二醇、饱和脂肪族三醇、乙醇酸、羧酸中的一种或几种,其组分浓度为100‑3000ppm;所述护岸剂为结构式成分中的一种或几种,其组分浓度为5‑200ppm;其中,A为碳原子或氮原子,R1为H、含碳数为1‑4的烷基、苯基、4‑卤素取代苯基、2‑吡咯基、3‑吡咯基、咪唑基、吡啶基、吡嗪基中的一种,R2为H、含碳数为1‑6的烷基、苯基、4‑卤素取代苯基、2‑吡咯基、3‑吡咯基、咪唑基、吡啶基、吡嗪基中的一种。在蚀刻液喷淋的过程中护岸剂可适当的吸附在铜面上,有效保护线路侧壁,减少侧蚀;润湿剂通过增加铜表面位置的亲水性,使蚀刻液充分地和铜反应。
搜索关键词: 一种 适用于 细线 制作 环保 酸性 蚀刻 添加剂 及其 应用
【主权项】:
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