[发明专利]崩环回收架有效
| 申请号： | 202110997365.6 | 申请日： | 2021-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN113859723B | 公开（公告）日： | 2023-04-25 |
| 发明（设计）人： | 吴应秋;尹俊辉;沈文强 | 申请（专利权）人： | 智新半导体有限公司 |
| 主分类号： | B65D25/10 | 分类号： | B65D25/10;B65D81/02;B65D25/00;B65D85/30 |
| 代理公司： | 武汉智权专利代理事务所(特殊普通合伙) 42225 | 代理人： | 韩梦晴 |
| 地址： | 430056 湖北省武汉*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体物料存储技术领域，本发明提供一种崩环回收架，包括：底座机构，包括基座；第一限位机构，包括设于多个支撑件，多个所述支撑件的底端均固定于所述基座上，多个所述支撑件的轴线方向均与所述基座的主表面垂直，多个所述支撑件用于限位于崩环内圆边沿处。本发明提供的崩环回收架，通过设置限位于崩环内圆边沿处的多个支撑件，对晶圆崩环起到暂存收纳作用，同时基座边沿对较薄的晶圆崩环起到物理防护作用。 | ||
| 搜索关键词： | 回收 | ||
【主权项】：
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