[发明专利]一种硅片检测装置在审
| 申请号： | 202110997705.5 | 申请日： | 2021-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN113758930A | 公开（公告）日： | 2021-12-07 |
| 发明（设计）人： | 卢亚宾;曹深深;云宏霞;张聪;梁坤 | 申请（专利权）人： | 博众精工科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/89;G01N21/84 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 王亚琼 |
| 地址： | 215200 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及硅片检测技术领域，公开了一种硅片检测装置。硅片检测装置包括传送单元、采集件、红外光源和调节组件。传送单元用于沿传送方向传送硅片；采集件和红外光源分别置于传送单元垂直于传送方向的两侧，红外光源发出的光线能够穿过硅片后到达采集件的采集端；调节组件设置有两个，两个调节组件分别连接于采集件和红外光源，调节组件能够调整采集件或红外光源的角度。本发明扩大了采集件与红外光源之间的相对角度的调节范围，保证了成像效果，提高了硅片上的隐裂等缺陷在采集到的图像上的清晰程度，保证了检测结果的准确度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 检测 装置 | ||
【主权项】：
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