[发明专利]排气管装置

摘要

本发明涉及排气管装置。根据一个实施例的排气管装置包括：电介质管；射频电极；接地电极；以及等离子体产生回路。射频电极设置在电介质管的外周侧，射频电压被施加到该射频电极。接地电极在电介质管的端部侧设置成使得其与射频电极的距离在电介质管的内部侧比外部侧小，接地电势被施加到该接地电极。等离子体产生回路在电介质管的内侧产生等离子体。排气管装置用作设置在成膜室与用于对成膜室的内部进行排气的真空泵之间的排气管的一部分。