[发明专利]一种底部抗反射涂料组合物及光刻胶浮雕图像的形成方法有效
| 申请号： | 202111004197.2 | 申请日： | 2021-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN113621291B | 公开（公告）日： | 2022-05-27 |
| 发明（设计）人： | 毛鸿超;李禾禾;王静;肖楠 | 申请（专利权）人： | 厦门恒坤新材料科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 厦门荔信律和知识产权代理有限公司 35282 | 代理人： | 赖秀华 |
| 地址： | 361027 福建省*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明属于光刻胶领域，具体涉及一种底部抗反射涂料组合物及光刻胶浮雕图像的形成方法。所述底部抗反射涂料组合物中含有树脂A和树脂B，所述树脂A含有叔胺基团且不含有氯基团，所述树脂B含有氯基团且不含有叔胺基团，所述树脂A和树脂B的质量比为(2～100):1。本发明提供的底部抗反射涂料组合物能够显著降低在固化前后涂层膜厚变化，膜收缩率低，从而可提高外涂光刻胶图像的光刻效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 底部 反射 涂料 组合 光刻 浮雕 图像 形成 方法 | ||
【主权项】：
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