[发明专利]关键尺寸的控制方法与控制系统在审
| 申请号： | 202111004336.1 | 申请日： | 2021-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN115729046A | 公开（公告）日： | 2023-03-03 |
| 发明（设计）人： | 张君君;钞付芳;吴志民 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 王辉;阚梓瑄 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种关键尺寸的控制方法与控制系统，该控制方法包括：建立光刻胶的曝光剂量与关键尺寸变异值的对应关系的第一数据库；获取关键尺寸的实际变异值，根据实际变异值与第一数据库，获取曝光剂量的第一修正量；建立光刻胶的烘烤与显影之间的等待时间与关键尺寸变异值的对应关系的第二数据库；预设烘烤与显影之间的标准延迟时间，获取光刻胶烘烤与显影之间的实际等待时间，并确定实际等待时间与标准延迟时间之间的时间差值；根据时间差值与第二数据库，获取关键尺寸的补偿变异值；根据补偿变异值与第一数据库，获取曝光剂量的第二修正量；根据第一修正量与第二修正量，修正光刻胶的曝光剂量；根据修正后的曝光剂量，进行关键尺寸的调整。 | ||
| 搜索关键词： | 关键 尺寸 控制 方法 控制系统 | ||
【主权项】：
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