[发明专利]一种离轴非球面反射镜零位补偿检测非线性误差校正方法有效
| 申请号： | 202111006117.7 | 申请日： | 2021-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN113776455B | 公开（公告）日： | 2022-06-21 |
| 发明（设计）人： | 郝三峰;张建;韩路;杨芝艳;安飞 | 申请（专利权）人： | 中国科学院西安光学精密机械研究所;西安科佳光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 赵逸宸 |
| 地址： | 710119 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明属于离轴非球面反射镜零位补偿检测校正方法，为解决目前零位补偿非线性误差校正方法中，光学校正造成检测系统进一步复杂化，图像校正中，Fiducial功能标定校正精度较低，基准蒙片法制作、安装和使用较为复杂，推导求解非线性误差精度不易控制且推导较为复杂的技术问题，提供一种离轴非球面反射镜零位补偿检测非线性误差校正方法，仅需在检测系统中确定被测镜母镜中心点位置，并对应在像面上获得像面中心点位置，结合光学设计软件逆向光线追迹获得非线性误差变化规律，再结合一般的数据处理，即可实现干涉检测数据非线性误差的高精度校正。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离轴非 球面 反射 零位 补偿 检测 非线性 误差 校正 方法 | ||
【主权项】：
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