[发明专利]一种蓝宝石晶体覆铜衬板的制作方法及其覆铜衬板有效
申请号: | 202111007757.X | 申请日: | 2021-08-30 |
公开(公告)号: | CN113755832B | 公开(公告)日: | 2022-10-25 |
发明(设计)人: | 李凯旋;张博雅;李兴文 | 申请(专利权)人: | 西安交通大学 |
主分类号: | C23C24/08 | 分类号: | C23C24/08;B22F1/103 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 姚咏华 |
地址: | 710049 *** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明公开了一种蓝宝石晶体覆铜衬板的制作方法,包括:在蓝宝石晶体的表面涂抹氧化铝、碳酸钙混合粉末,并烧结形成混合粉末附着层;在混合粉末附着层表面涂抹活性金属钎焊料层;将铜箔经预处理后,在活性金属钎焊料层的表面烧结形成铜层,最终形成蓝宝石晶体覆铜衬板。该蓝宝石晶体覆铜衬板的晶体内部为单晶结构,微粒接触面积大,散热性能提升;改良工艺实现铜层与晶体的紧密结合,剥离强度大,表面空洞率低,电绝缘性能优异;晶体光吸收强度低,并可以实现模块芯片的光学在线监测。 | ||
搜索关键词: | 一种 蓝宝石 晶体 覆铜衬板 制作方法 及其 | ||
【主权项】:
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