[发明专利]一种三氟化氮纯化用气体热解设备有效

专利信息
申请号: 202111009721.5 申请日: 2021-08-31
公开(公告)号: CN113648780B 公开(公告)日: 2023-08-01
发明(设计)人: 林坤;马朝选;孟祥军;王少波;董强 申请(专利权)人: 中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司
主分类号: B01D53/00 分类号: B01D53/00
代理公司: 西安汇恩知识产权代理事务所(普通合伙) 61244 代理人: 张伟花
地址: 057550 河北省邯*** 国省代码: 河北;13
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摘要: 发明提供了一种三氟化氮纯化用气体热解设备,包括保温箱,保温箱内设有热解罐,保温箱的内侧壁上固定有安装架,安装架的一侧固定有两个承载盒,承载盒内设有转动机构,转动机构上安装有旋转接头,旋转接头的一端固定有L型喷管。本发明通过导热油加热设备和电磁加热的结合,实现了三氟化氮气体的快速热解,同时相比于电阻丝加热耗电少、方便管理控制、加热效率高,降低了加热成本和加热时间,另外三氟化氮气体采用旋转进气和喷气进入的形式更是提升了气体在内部接触面积,充分实现了对内部气体充分快速的热解,不仅提升热解效率,而且极大的提升了热解的效果,保证了三氟化氮气体的充分纯化。
搜索关键词: 一种 氟化 化用 气体 设备
【主权项】:
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