[发明专利]COF载带烘烤流道及烘烤方法有效

专利信息
申请号: 202111010130.X 申请日: 2021-08-31
公开(公告)号: CN113441368B 公开(公告)日: 2021-11-23
发明(设计)人: 蔡水河;赵昱豪 申请(专利权)人: 常州欣盛半导体技术股份有限公司
主分类号: B05D3/04 分类号: B05D3/04;H01L21/56
代理公司: 常州至善至诚专利代理事务所(普通合伙) 32409 代理人: 朱丽莎
地址: 213000 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种COF载带烘烤流道及烘烤方法,包括:两个流道组件,两个流道组件均位于烘烤箱内,两个流道组件上承载有沿第一方向输送的COF载带,两个流道组件相互平行,两个流道组件关于COF载带对称布置,两个流道组件之间的距离小于COF载带的宽度,流道组件的正投影与COF载带的正投影存在交集,流道组件的上表面具有多个凸起部,多个凸起部沿第一方向均匀布置,COF载带的下表面与多个凸起部相接触,相邻两个凸起部与COF载带之间形成通道,通道用以供烘烤箱内的热风通过。本发明的凸起部,减少了与COF载带的接触面积,降低了产生静电的概率;热风从相邻凸起部与COF载带之间的通道流动,避免了热风吹拂COF载带时,热风无法及时溢出,导致COF载带晃动的问题。
搜索关键词: cof 烘烤 方法
【主权项】:
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