[发明专利]一种晶元切割机用气浮平台在审
| 申请号： | 202111028407.1 | 申请日： | 2021-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN113572337A | 公开（公告）日： | 2021-10-29 |
| 发明（设计）人： | 巩铁建;陶为银;蔡正道;张伟 | 申请（专利权）人： | 河南通用智能装备有限公司 |
| 主分类号： | H02K41/02 | 分类号： | H02K41/02;H02K7/14;H01L21/304;H01L21/68 |
| 代理公司： | 郑州银河专利代理有限公司 41158 | 代理人： | 安申涛 |
| 地址： | 450000 河南省郑州市高新技术产业*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明提供一种晶元切割机用气浮平台，包括底座，所述底座的上部基面上设置有对称的双驱轴线性导轨，所述双驱轴线性导轨的一侧设置有双驱轴定子，所述双驱轴定子上连接有双驱轴动子，所述双驱轴线性导轨上架设有气浮轴横梁，所述气浮轴横梁上设置有气浮块，所述气浮块包括设置在气浮轴横梁下部的底部气浮块和设置在底部气浮块上且在气浮轴横梁两侧的侧边气浮块，所述气浮轴横梁的上方且在侧边气浮块的上部设置有转台安装台，所述转台安装台上设置有DD转台，所述转台安装台的下部且在两侧的侧边气浮块内设置有气浮轴定子和气浮轴动子，可以有效避免线性导轨表面微观上的凹凸造成运动过程中Z向的跳动和丝杆的长时间运动导致的热变形和磨损问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 切割机 用气浮 平台 | ||
【主权项】：
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