[发明专利]光斑改善型垂直腔面发射激光器及其制作方法有效
| 申请号： | 202111028483.2 | 申请日： | 2021-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN113725730B | 公开（公告）日： | 2022-08-09 |
| 发明（设计）人： | 蔡文必;曾评伟 | 申请（专利权）人： | 厦门市三安集成电路有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/183 | 分类号： | H01S5/183;H01S5/042 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 何少岩 |
| 地址： | 361100 福建省厦门*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本申请提供一种光斑改善型垂直腔面发射激光器，包括衬底，衬底包括第一区域和位于第一区域周围的第二区域，第二区域的平坦程度小于第一区域。在衬底正面依次形成有N型DBR层、发光层和P型DBR层，P型DBR层中形成有环状的氧化层，第二区域构成的环状内径小于氧化层构成的出光孔径。利用平坦程度较低的第二区域可以弱化对应位置的上下DBR层的光反射，可将出光孔径边缘的强光的光发射减弱，达到改善出光不均匀的问题。此外，本申请还提供一种该激光器的制作方法，通过直接对衬底进行粗糙化形成第二区域的方式，无需额外设置其他层级结构的基础上，达到改善出光不均匀的问题，实现改善最终光斑模态的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 光斑 改善 垂直 发射 激光器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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