[发明专利]TC4材料表面镀制类金刚石保护层的方法、TC4材料及其应用在审
| 申请号： | 202111029715.6 | 申请日： | 2021-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN113718252A | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 龙丹;林勇刚;王立利 | 申请（专利权）人： | 科汇纳米技术（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | C23C28/00 | 分类号： | C23C28/00;C23C14/02;C23C14/06;C23C14/16;C23C14/32;C23C16/26;B64G1/16 |
| 代理公司： | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人： | 黄勇;任志龙 |
| 地址： | 518101 广东省深圳市宝安*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请具体公开了一种TC4材料表面镀制类金刚石保护层的方法、TC4材料及其应用。TC4材料表面镀制类金刚石保护层的方法，包括：通过阴极电弧离子镀在TC4材料表面依次镀制Ti层、TiN层以及TiCN层；通过化学气相沉积在TiCN层上镀制类金刚石层。TC4材料，其表面采用上述TC4材料表面镀制类金刚石保护层的方法镀制有类金刚石保护层。月球车机械臂，其材质为上述TC4材料。本申请通过在TC4材料上镀制类金刚石保护层，使TC4材料具有良好的耐磨性、润滑性、耐腐蚀性和耐高温性。本申请镀制的具有Ti‑TiN‑TiCN三层结构的过渡层，能更有效地提升TC4材料和类金刚石层之间的结合性，从而有助于类金刚石层更好的发挥作用，进而提升了镀制有类金刚石保护层的TC4材料的性能。 | ||
| 搜索关键词： | tc4 材料 表面 镀制类 金刚石 保护层 方法 及其 应用 | ||
【主权项】：
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