[发明专利]硬质合金材料表面金刚石层的制备方法、硬质合金材料及其应用在审

专利信息
申请号: 202111029731.5 申请日: 2021-09-03
公开(公告)号: CN113718226A 公开(公告)日: 2021-11-30
发明(设计)人: 龙丹;林勇刚;王立利 申请(专利权)人: 科汇纳米技术(深圳)有限公司
主分类号: C23C16/27 分类号: C23C16/27;C23C16/02
代理公司: 北京维正专利代理有限公司 11508 代理人: 黄勇;任志龙
地址: 518101 广东省深圳市宝安*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 本申请具体公开了一种硬质合金材料表面金刚石层的制备方法、硬质合金材料及其应用。硬质合金材料表面金刚石层的制备方法,将硬质合金材料置于工作腔中,抽真空;之后同时通入氢气、甲烷及四甲基硅烷,并加热至550℃以上,进行化学气相沉积;甲烷和四甲基硅烷的体积比为10:(0.1‑5)。硬质合金材料,其表面金刚石层采用上述硬质合金材料表面金刚石层的制备方法制得。刀具,材质为上述硬质合金材料。本申请通过将掺杂碳化硅的金刚石层沉积在硬质合金材料上,使由该材料制得的刀具具有更好的耐磨性和热稳定性,更低的热膨胀性及更高的导热性。本申请通过四甲基硅烷的引入,在金刚石中掺杂碳化硅,利用其良好的耐高温性,弥补了金刚石在耐高温性上的不足。
搜索关键词: 硬质 合金材料 表面 金刚石 制备 方法 硬质合金 材料 及其 应用
【主权项】:
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