[发明专利]硬质合金材料表面金刚石层的制备方法、硬质合金材料及其应用在审
申请号: | 202111029731.5 | 申请日: | 2021-09-03 |
公开(公告)号: | CN113718226A | 公开(公告)日: | 2021-11-30 |
发明(设计)人: | 龙丹;林勇刚;王立利 | 申请(专利权)人: | 科汇纳米技术(深圳)有限公司 |
主分类号: | C23C16/27 | 分类号: | C23C16/27;C23C16/02 |
代理公司: | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人: | 黄勇;任志龙 |
地址: | 518101 广东省深圳市宝安*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本申请具体公开了一种硬质合金材料表面金刚石层的制备方法、硬质合金材料及其应用。硬质合金材料表面金刚石层的制备方法,将硬质合金材料置于工作腔中,抽真空;之后同时通入氢气、甲烷及四甲基硅烷,并加热至550℃以上,进行化学气相沉积;甲烷和四甲基硅烷的体积比为10:(0.1‑5)。硬质合金材料,其表面金刚石层采用上述硬质合金材料表面金刚石层的制备方法制得。刀具,材质为上述硬质合金材料。本申请通过将掺杂碳化硅的金刚石层沉积在硬质合金材料上,使由该材料制得的刀具具有更好的耐磨性和热稳定性,更低的热膨胀性及更高的导热性。本申请通过四甲基硅烷的引入,在金刚石中掺杂碳化硅,利用其良好的耐高温性,弥补了金刚石在耐高温性上的不足。 | ||
搜索关键词: | 硬质 合金材料 表面 金刚石 制备 方法 硬质合金 材料 及其 应用 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于科汇纳米技术(深圳)有限公司,未经科汇纳米技术(深圳)有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202111029731.5/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的