[发明专利]一种基于静电反馈结构的隧道磁阻加速度计装置有效
| 申请号： | 202111030557.6 | 申请日： | 2021-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN113671214B | 公开（公告）日： | 2022-11-15 |
| 发明（设计）人： | 杨波;陈新茹;李成;黄鑫;孙震宇;曾俊杰 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01P15/105 | 分类号： | G01P15/105 |
| 代理公司： | 南京众联专利代理有限公司 32206 | 代理人： | 薛雨妍 |
| 地址： | 210096 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于静电反馈结构的隧道磁阻加速度计装置，该装置由位于顶层的隧道磁阻传感器检测结构，位于中间层的永磁体结构和底层机构形成一个统一整体。其中永磁体结构通过微组装固定在底层机构上表面，底层机构包括敏感外部加速度的敏感结构和静电反馈结构。敏感结构使得输入加速度转化为位移变化，进而转化为永磁体的位移变化，同时通过静电反馈结构实现对永磁体的控制，使得永磁体总是处于平衡位置，最后通过隧道磁阻传感器检测结构输出不同电压信号，实现对外界加速度的测量。本发明提出的基于静电反馈结构的隧道磁阻加速度计装置具有精度高、灵敏度高、动态范围大等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 静电 反馈 结构 隧道 磁阻 加速度计 装置 | ||
【主权项】：
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