[发明专利]利用平移旋转绝对检测法测包含离焦像差的平面镜面型的方法有效
| 申请号： | 202111036664.X | 申请日： | 2021-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN113804122B | 公开（公告）日： | 2023-05-26 |
| 发明（设计）人： | 陈小君;吴永前;刘锋伟;赵彦;肖向海 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 江亚平 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种利用平移旋转绝对检测法测包含离焦像差的平面镜面型的方法，属于光学检测领域。本发明根据平移旋转的有效口径始终小于被测镜的全口径的特性，提出通过监测全口径的倾斜量来监测外界因素造成的被测镜倾斜，并通过实时调整实现被测镜的倾斜角去除。之后，将被测镜有效口径内的检测数据代入绝对检测算法，最终实现准确复原包含离焦像差的平面镜面型的目的。本发明无需借助任何辅助装置，方法简单，成本低，误差源少。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 平移 旋转 绝对 检测 包含 离焦像差 平面镜 方法 | ||
【主权项】：
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