[发明专利]一种具有回收结构的晶圆片清洗机在审
| 申请号： | 202111038268.0 | 申请日： | 2021-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN113894082A | 公开（公告）日： | 2022-01-07 |
| 发明（设计）人： | 钱诚;李刚;童建 | 申请（专利权）人： | 无锡亚电智能装备有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B3/08;B08B3/14;B08B3/10;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京商专润文专利代理事务所(普通合伙) 11317 | 代理人： | 陈平 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市新吴区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明属于晶圆片清洗领域，具体为一种具有回收结构的晶圆片清洗机，包括机壳、清洗机构、液体回收机构、抓取机构，所述机壳上方设置有所述液体回收机构，所述液体回收机构上方设置有所述清洗机构，所述清洗机构上方设置有所述抓取机构；所述机壳包括支撑柱、连接板、底部支架、下箱体、仓门、把手、支撑板、上壳，所述支撑柱上方设置有所述连接板,所述支撑柱一侧设置有所述底部支架，所述底部支架上方设置有所述下箱体，所述下箱体前部设置有所述仓门、所述仓门一侧设置有所述把手，利用清洗机构对晶体进行清洗，利用液体回收机构对废液进行回收再利用，利用抓取机构对晶体抓取避免二次污染，减少清洗剂的使用，降低成本，提高效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 回收 结构 晶圆片 清洗 | ||
【主权项】：
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