[发明专利]方法以及用于执行该方法的代码段和控制装置在审
| 申请号： | 202111043737.8 | 申请日： | 2021-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN114250442A | 公开（公告）日： | 2022-03-29 |
| 发明（设计）人： | 马丁·朗格;拉尔夫·比德尔曼;达米尔·穆哈梅德扎罗 | 申请（专利权）人： | 冯·阿登纳资产股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C16/52;C23C14/34;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 谭营营;王朝辉 |
| 地址： | 德国德*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 根据不同的实施方式，一种方法(100)可以具有：基于涂层过程(201)的一组多个彼此并行地检测的调节参量驱控第一调整元件(801a)，借助第一调整元件供应涂层过程(201)，并且调节参量中的每个调节参量在驱控第一调节元件(801a)时均被考虑到；基于涂层过程(201)的一组多个彼此检测的调节参量驱控第二调整元件(801b)，借助第二调整元件供应涂层过程(201)，并且调节参量中的每个调节参量在驱控第二调节元件(801b)时均被考虑到。 | ||
| 搜索关键词： | 方法 以及 用于 执行 代码 控制 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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