[发明专利]一种锌镁靶材及其制备方法有效
| 申请号： | 202111050306.4 | 申请日： | 2021-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN113862619B | 公开（公告）日： | 2023-10-17 |
| 发明（设计）人： | 黄宇彬;余飞;童培云;朱刘 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料（广东）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B23P15/00 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 颜希文;黄华莲 |
| 地址： | 511517 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及靶材技术领域，公开了一种锌镁靶材及其制备方法，其中，其制备方法包括以下步骤：将单质锌与单质镁投入真空熔炼炉内熔炼，融化后充分搅拌并保温，得到混合熔炼液；将混合熔炼液进行浇注，形成锌镁合金压料；将锌镁合金压料加热，加热后通过一号模具进行挤压，得到第一挤压料；依次采用二号模具、三号模具、···、N号模具进行挤压，得到靶材毛胚；对靶材毛坯进行机加工，得到锌镁靶材。采用本发明的制备方法制作的锌镁靶材，其内部物缺陷，致密度较高，平均晶粒小于200微米，采用此锌镁靶材进行溅射，均匀并细小的晶粒不仅有助于获得膜厚均匀统一的薄膜功能层，且可避免溅射过程中发生放电及点火现象。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 锌镁靶材 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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