[发明专利]一种自动化加工控制方法及设备有效
| 申请号： | 202111053160.9 | 申请日： | 2021-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN113523948B | 公开（公告）日： | 2021-12-03 |
| 发明（设计）人： | 陈炳寺;戴磊 | 申请（专利权）人： | 江苏佳晟精密设备科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B9/06 | 分类号： | B24B9/06;B24B27/00;B24B41/06;B24B7/17;B24B7/22;B24B37/08;B24B37/28;B24B37/34 |
| 代理公司： | 江苏长德知识产权代理有限公司 32478 | 代理人： | 陈飞 |
| 地址： | 221300 江苏省徐州市邳州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及芯片加工技术领域，公开了一种自动化加工控制方法及设备，自动化加工设备包括承载盘以及设于承载盘底部的下磨盘，承载盘内部设有一个太阳轮以及一个以上的游星轮，游星轮的内部设有一个以上的装夹孔，装夹孔的孔壁上设有多个均匀环形阵列分布的装夹单元，装夹单元包括夹块、第一连杆、第二连杆以及连接第二连杆的球头，夹块固定的连接第一连杆的内端，第一连杆的外端插入第二连杆中，并且第一连杆与第二连杆滑动的配合，在第一连杆与第二连杆之间连接有弹簧，该弹簧设于第二连杆内部；本发明将倒角和表面研磨两个工艺均通过双面研磨机进行加工，缩短晶片加工工艺流程，降低设备成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自动化 加工 控制 方法 设备 | ||
【主权项】：
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