[发明专利]一种在剃须刀盖帽表面形成多纳米涂层的方法及系统有效
申请号: | 202111056664.6 | 申请日: | 2021-09-09 |
公开(公告)号: | CN113789501B | 公开(公告)日: | 2023-07-25 |
发明(设计)人: | 郁水峰;汪鸿涛;许新花;李明辉 | 申请(专利权)人: | 比尔安达(上海)润滑材料有限公司 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35;C23C14/02;C23C14/06;C23C14/50 |
代理公司: | 上海塔科专利代理事务所(普通合伙) 31380 | 代理人: | 吴帅 |
地址: | 201900 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明属于涂层加工技术领域,具体涉及一种在剃须刀盖帽表面形成多纳米涂层的方法及系统,包括抛光;超声清洗;排料;将多个成矩形阵列分布的剃须刀盖帽同时转移到载具上;将载具转移至多靶磁控溅射装置的腔体内,该腔体底部设有转盘,转盘上沿周向设有多个用于安装载具的工位;表面溅射刻蚀;溅射镀膜;卸料。本发明利用载具对多个剃须刀盖帽进行装夹,装夹过程由溅射喷涂装置上游的设备进行操作,无需人工一个个将工件摆放在溅射喷涂装置内,提高了加工效率;另外,相比于独立的剃须刀盖帽,载具更容易实施与转盘之间的连接,能够有效提高喷涂过程中工件的稳定性。 | ||
搜索关键词: | 一种 剃须刀 盖帽 表面 形成 纳米 涂层 方法 系统 | ||
【主权项】:
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