[发明专利]一种双远心镜头和光刻系统有效
| 申请号： | 202111058505.X | 申请日： | 2021-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN113741014B | 公开（公告）日： | 2022-09-02 |
| 发明（设计）人： | 向诗文;沈峰;徐雄飞 | 申请（专利权）人： | 嘉兴中润光学科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B13/22 | 分类号： | G02B13/22;G02B13/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 314000 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及光学领域，具体为一种双远心镜头和光刻系统，所述双远心镜头从物面侧到像面侧依次包括：第一透镜群、光阑、第二透镜群和保护玻璃；所述双远心镜头满足以下条件式：0.45＜fg1/fg2＜0.85；WD/TTL＞0.3；其中，fg1为第一透镜群的焦距，fg2为第二透镜群的焦距，WD为所述保护玻璃与像面之间的间距，TTL为所述双远心镜头的光学总长。通过保护玻璃与像面之间的间距的限定，增加了双远心镜头的工作距离，增加了适用于光刻系统的范围。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 双远心 镜头 光刻 系统 | ||
【主权项】：
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