[发明专利]微机械结构和微机械传感器在审
| 申请号： | 202111060915.8 | 申请日： | 2021-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN114162776A | 公开（公告）日： | 2022-03-11 |
| 发明（设计）人： | S·基泽尔;C·纳格尔;S·京特 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81B7/02;G01P15/125;G01P15/18 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 韩长永 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及微机械结构，具有衬底和相对于衬底可动的振动质量及第一和第二探测机构。第一方向和基本垂直于它的第二方向限定衬底的主延伸平面。第一探测机构用于探测振动质量的平移偏转。第二探测机构用于探测振动质量的旋转偏转。振动质量通过锚固件和四个扭转弹簧部段与衬底连接。第一探测机构具有电极结构，其包括固定于振动质量的第一电极和固定于衬底的第二电极。第一电极和第二电极具有沿第二方向和第三方向基本二维的延展，该第三方向垂直于主延伸平面。锚固件具有第一部段和第二部段，在它们之间设置间隙。连接件连接两个第一电极，该连接件引导通过该间隙。本发明还涉及包括这种微机械结构和用于读取探测机构的电气电路的微机械传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 结构 传感器 | ||
【主权项】：
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