[发明专利]微镜芯片封装结构、激光设备以及汽车在审
| 申请号： | 202111063339.2 | 申请日： | 2021-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN115784144A | 公开（公告）日： | 2023-03-14 |
| 发明（设计）人： | 吴佳豪;曾理;周吴 | 申请（专利权）人： | 华为技术有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81B7/00 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 刘茹 |
| 地址： | 518129 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请实施例提供一种微镜芯片封装结构、激光设备和汽车。涉及微机电技术领域。主要用于提供一种能够抑制微镜芯片振动幅度的微镜芯片封装结构。该微镜芯片封装结构包括微镜芯片、堆叠的第一衬底和第二衬底；微镜芯片设置在第一衬底的背离第二衬底的一侧；微镜芯片包括框架、可动部件和第一扭转臂，可动部件通过第一扭转臂与框架连接；第一衬底包括隔振平台、弹性梁和支撑框，微镜芯片设置在隔振平台上，隔振平台通过弹性梁与支撑框连接；支撑框与第二衬底固定连接，隔振平台和第二衬底之间形成有间隙；隔振平台和第二衬底上均存在镂空区域，镂空区域与可动部件相对。该微镜芯片封装结构是一种二自由度系统，用于隔振，提升微镜芯片性能。 | ||
| 搜索关键词： | 芯片 封装 结构 激光设备 以及 汽车 | ||
【主权项】：
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