[发明专利]一种半导体外延石英部件加工砂轮、研磨装置以及磨床有效
| 申请号： | 202111065615.9 | 申请日： | 2021-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN113500502B | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 王卫良;李士昌;刘超平;林保璋;蒋建新 | 申请（专利权）人： | 盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司;盛吉盛精密制造（绍兴）有限公司 |
| 主分类号： | B24B19/22 | 分类号： | B24B19/22;B24B41/04;B24B45/00;B24B47/12;B24B55/00;B24B41/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 315100 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种半导体外延石英部件加工砂轮、研磨装置以及磨床，涉及半导体外延石英部件生产的技术领域，包括连接套、通过连接装置可拆卸设置在连接套上的精磨轮和粗磨轮。本申请通过解锁连接装置，然后根据加工要求更换精磨轮和粗磨轮进行更换，提高了对砂轮进行选择时的便利性，也降低了多次更换砂轮的概率，而且在产品加工时，可提前将需要的精磨轮和粗磨轮更换完成，以此来提高了砂轮对产品进行加工时的加工效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 外延 石英 部件 加工 砂轮 研磨 装置 以及 磨床 | ||
【主权项】：
暂无信息
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