[发明专利]兰姆波谐振器及其制备方法在审
| 申请号： | 202111066444.1 | 申请日： | 2021-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN113904652A | 公开（公告）日： | 2022-01-07 |
| 发明（设计）人： | 张一;汪青;于洪宇 | 申请（专利权）人： | 南方科技大学 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H9/02;H03H9/08;H03H3/02 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 衡滔 |
| 地址： | 518000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种兰姆波谐振器及其制备方法，涉及声波谐振器技术领域。该兰姆波谐振器包括支撑衬底、支撑结构、压电薄膜和顶部电极。支撑衬底和压电薄膜间隔设置，支撑结构的一端设置于支撑衬底的表面，支撑结构的另一端设置于压电薄膜的第一表面，顶部电极设置于压电薄膜的背离支撑衬底的第二表面，顶部电极和支撑结构在压电薄膜的厚度方向上至少有部分重叠。该兰姆波谐振器，可以提高压电薄膜的机械稳定性，并且提高谐振器的散热特性及功率特性；由于兰姆波谐振器的主模态能量主要集中在电极之间部分，声波传递到电极区域多次反射将产生杂散模态，提供支撑结构有利于杂散声波能量泄露到支撑衬底，从而改善其杂散模态多的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 兰姆波 谐振器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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