[发明专利]一种用于半导体加工的固态前驱体源升华装置及方法

摘要

本发明公开了一种用于半导体加工的固态前驱体源升华装置及方法，旨在解决固态前驱体源的挥发升华不稳定，固态前驱体源的利用率低的不足。该发明包括存储箱、安装在存储箱内的若干托盘、安装在托盘底部的电热温控板，托盘上密布若干用于装载固态前驱体源的储料槽，储料箱形成蛇形的通气流道，储料箱上设置载气进口、混合蒸汽出口，通气流道两端分别与载气进口、混合蒸汽出口连通。这种电热式固态前驱体源存储升华装置能为固态前驱体源的挥发升华提供均匀的稳定热能，并且杜绝了低阻通道现象的形成，对一些易板结的且具有一定蒸汽压的固态前驱体源仍然可以利用，在提供稳定浓度的固态前驱体源蒸汽同时提高了固态前驱体源的利用率。