[发明专利]一种检测单晶硅棒长度和斜度的装置及其检测方法有效
申请号: | 202111077852.7 | 申请日: | 2021-09-15 |
公开(公告)号: | CN113532291B | 公开(公告)日: | 2021-12-17 |
发明(设计)人: | 朱焕焕;万文义 | 申请(专利权)人: | 邳州千润模具有限公司 |
主分类号: | G01B11/02 | 分类号: | G01B11/02;G01B11/26 |
代理公司: | 北京和联顺知识产权代理有限公司 11621 | 代理人: | 谢冰 |
地址: | 221000 江苏省徐州市邳州市宿羊山镇山海*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种检测单晶硅棒长度和斜度的装置及其检测方法,属于单晶硅棒检测技术领域。一种检测单晶硅棒长度和斜度的装置,包括底座,还包括:滑动连接在所述底座上的第一安装板;固定连接在所述第一安装板侧壁的第二安装板;本发明通过四根安装杆将单晶硅棒夹住,使中心杆的轴线与单晶硅棒的轴线处于同一条直线,通过使两根中心杆与单晶硅棒两端的端面中心点相抵,快速准确的测量出单晶硅棒的长度,然后使安装筒转动,使测量杆转动,对单晶硅棒端面进行整体测量,快速测量出多组数据,从中取出最大值,利用最大值减去测量杆端点与中心杆之间的初始角度得出精确的斜度数值,以此提高测量精度。 | ||
搜索关键词: | 一种 检测 单晶硅 长度 斜度 装置 及其 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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