[发明专利]一种三级火焰VAD工艺沉积喷灯在审
| 申请号： | 202111086955.X | 申请日： | 2021-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN113788611A | 公开（公告）日： | 2021-12-14 |
| 发明（设计）人： | 刘二明;朱晓弦;王友志;秦霏;张宏胜 | 申请（专利权）人： | 长飞光纤潜江有限公司 |
| 主分类号： | C03B37/014 | 分类号： | C03B37/014 |
| 代理公司： | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人： | 胡建平 |
| 地址： | 433100 湖北省*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种三级火焰VAD工艺沉积喷灯，包括有喷灯体，喷灯体沿周向设置中心供料孔和围绕中心供料孔的多层环形气孔，其特征在于所述的多层环形气孔均为火焰环形气孔，且从内向外依次包括内层火焰环形气孔、中层火焰环形气孔和外层火焰环形气孔，所述喷灯体的喷口端面由内向外呈三级轴向递增内凹状，其中内层火焰环形气孔喷口位于喷口端面的最内面，与中心供料孔喷口齐平，中层火焰环形气孔喷口位于喷口端面的次内面，外层火焰环形气孔喷口位于喷口端面的最外面，所述的火焰环形气孔包括有氧气环形气孔和氢气环形气孔。本发明不仅结构设置合理，易于加工，而且能有效改善和提高沉积过程的收集率和沉积速率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 三级 火焰 vad 工艺 沉积 喷灯 | ||
【主权项】：
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