[发明专利]毫米波开关芯片在审
| 申请号： | 202111087348.5 | 申请日： | 2021-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN113809173A | 公开（公告）日： | 2021-12-17 |
| 发明（设计）人： | 王俊龙;陈海森 | 申请（专利权）人： | 深圳市电科智能科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/778 | 分类号： | H01L29/778 |
| 代理公司： | 河北冀华知识产权代理有限公司 13151 | 代理人： | 王占华 |
| 地址： | 518126 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种毫米波开关芯片，SiC衬底的上表面形成有AlN缓冲层，所述AlN缓冲层的上表面形成有第一GaN层，通过背栅槽使得部分第一GaN层的下表面露出，所述第一GaN层的下表面的裸露部分形成有背栅；所述第一GaN层上表面的左侧形成有源极欧姆接触层，所述第一GaN层上表面的右侧形成有漏极欧姆接触层，所述源极欧姆接触层与所述漏极欧姆接触层之间的第一GaN层的上表面从下到上形成有第一AlGaN层、第二GaN层以及第二AlGaN层，所述源极欧姆接触层的上表面形成有源极，所述漏极欧姆接触层的上表面形成有漏极，所述第二AlGaN层的上表面形成有顶栅。所述芯片具有开关频率速度高等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 毫米波 开关 芯片 | ||
【主权项】：
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