[发明专利]用于拾取晶圆的机械手有效
| 申请号： | 202111090344.2 | 申请日： | 2021-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN113650045B | 公开（公告）日： | 2022-12-20 |
| 发明（设计）人： | 彭超 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | B25J15/06 | 分类号： | B25J15/06;H01L21/677;B25J19/02 |
| 代理公司： | 北京英思普睿知识产权代理有限公司 16018 | 代理人： | 刘莹;聂国斌 |
| 地址： | 430000 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种用于拾取晶圆的机械手。该机械手包括：机械手臂；以及至少一个吸盘装置，所述至少一个吸盘装置设置在所述机械手臂上，每个所述吸盘装置包括：第一吸盘；以及弹性支撑体，所述弹性支撑体的至少部分位于所述第一吸盘和所述机械手臂之间，所述弹性支撑体包括第一端和第二端，相比于所述弹性支撑体的第二端，所述弹性支撑体的第一端更靠近所述机械手臂，所述弹性支撑体的第二端与所述第一吸盘连接，所述弹性支撑体被配置为支撑所述第一吸盘。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 拾取 机械手 | ||
【主权项】：
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