[发明专利]一种超高效的交叉指式背接触异质结太阳电池

摘要

本发明公开了一种超高效交叉指式背接触异质结太阳电池，包括晶硅衬底，所述晶硅衬底的前表面包括至少一种钝化层，所述前表面经过RIE等离子刻蚀方法，形成一种超低反射率表面；所述晶硅衬底的背表面从内到外分别包括隧穿氧化层、交替排列的n+掺杂非晶硅层/p+掺杂非晶硅层、激光开槽区、钝化层和金属电极。本发明采用RIE等离子刻蚀技术制备前表面低反射率黑硅结构，进一步改善高效电池光学吸收，电流密度达到42.6mA/cm2以上，同时匹配前表面多种钝化结构，进一步提升电池钝化能力，电池开路电压保持在710mA以上，量产化HBC电池效率达到25.5％以上。