[发明专利]探针台在审
| 申请号： | 202111092707.6 | 申请日： | 2021-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN114252664A | 公开（公告）日： | 2022-03-29 |
| 发明（设计）人： | 李赫柱 | 申请（专利权）人： | 细美事有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;G01R31/26;G01B11/00 |
| 代理公司： | 上海和跃知识产权代理事务所(普通合伙) 31239 | 代理人： | 侯聪 |
| 地址： | 韩国忠清南道天*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种探针台包括卡盘，其被构造成支撑基板；探针卡，其设置在所述卡盘的上方并且被构造成对形成在所述基板上的半导体器件进行电测试；相机单元，其设置在所述卡盘的上方并且被构造成对所述基板进行成像；以及相机驱动部件，其被构造成在水平方向上移动所述相机单元。所述相机驱动部件包括制动单元，其用于使用涡流制动力使所述相机单元停止在预定位置处。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 | ||
【主权项】：
暂无信息
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