[发明专利]一种钛扩散铌酸锂光波导的制备方法在审
| 申请号： | 202111096026.7 | 申请日： | 2021-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN113805273A | 公开（公告）日： | 2021-12-17 |
| 发明（设计）人： | 富松;张洪波;华勇 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十四研究所 |
| 主分类号： | G02B6/13 | 分类号： | G02B6/13;G02B6/136;G02B6/12 |
| 代理公司： | 重庆乐泰知识产权代理事务所(普通合伙) 50221 | 代理人： | 袁泉 |
| 地址： | 400060 *** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种钛扩散铌酸锂光波导的制备方法，包括在铌酸锂基片表面形成一层具有导电性能的导电薄膜；利用光刻工艺在所述导电薄膜的表面形成一第一钛条沉积窗口和光刻胶波导掩膜结构；对导电薄膜进行第一次腐蚀，在导电薄膜上对应于所述第一钛条沉积窗口的位置处形成第二钛条沉积窗口，所述第二钛条沉积窗口使得铌酸锂基片的表面显露于外；在铌酸锂基片显露于外的表面形成一层钛膜；将铌酸锂基片上的光刻胶波导掩膜结构剥离；对导电薄膜进行第二次腐蚀，得到具有钛条扩散源的铌酸锂基片；将得到的铌酸锂基片在预设的扩散温度及扩散时间下进行钛扩散，完成铌酸锂光波导的制备，光波导的成品质量成品率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扩散 铌酸锂光 波导 制备 方法 | ||
【主权项】：
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