[发明专利]一种用于芯片缺陷检测系统图像获取的照明装置有效
| 申请号： | 202111096263.3 | 申请日： | 2021-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN113758873B | 公开（公告）日： | 2023-08-04 |
| 发明（设计）人： | 程坦;刘涛;邹爱刚;汪玮 | 申请（专利权）人： | 中科海拓（无锡）科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01;G01N21/88;G01N21/95 |
| 代理公司： | 无锡市观知成专利商标代理事务所(特殊普通合伙) 32591 | 代理人： | 任月娜 |
| 地址： | 214000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种用于芯片缺陷检测系统图像获取的照明装置，包括遮光罩、镜头固定座、同轴平行光源模块和漫射光源模块，所述镜头固定座安装在遮光罩的上端。本发明所述的一种用于芯片缺陷检测系统图像获取的照明装置，通过设有的同轴平行光源模块和漫射光源模块，当平行光线照射在芯片表面时，引脚面和中心焊盘等金属区域部分在平行光的照射下发生镜面发射，而塑封面由于其表面粗糙度较大，则发生漫反射，而由漫射光源模块的漫射LED灯珠发射的漫射光照射在芯片表面时，可以增强照射在塑封面表面的光照强度，使得芯片表面缺陷成像效果更加的均匀，可以提高芯片表面缺陷图像的质量，有利于后续更好的对图像进行处理和分析。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 芯片 缺陷 检测 系统 图像 获取 照明 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中科海拓（无锡）科技有限公司，未经中科海拓（无锡）科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202111096263.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
