[发明专利]一种玻璃基板的加工方法有效
| 申请号： | 202111097790.6 | 申请日： | 2021-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN113828943B | 公开（公告）日： | 2023-10-03 |
| 发明（设计）人： | 肖红星;程灿;吴佳辉;汪康;龙维 | 申请（专利权）人： | 湖北优尼科光电技术股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/382 | 分类号： | B23K26/382;B23K26/60;C03C17/22;B24B27/033 |
| 代理公司： | 武汉智嘉联合知识产权代理事务所(普通合伙) 42231 | 代理人： | 张璐 |
| 地址： | 432500 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种玻璃基板的加工方法，包括：(1)沉积碳化硅层；(2)预加热处理：将含有所述碳化硅层的玻璃基板转移至预热腔中，维持预加热温度60～180s，且预加热温度为600～800℃；(3)激光脉冲打孔；(4)抛光清洗。本发明通过在玻璃基板上预先沉积一层碳化硅薄膜，利用碳化硅薄膜高导热系数以及低热膨胀系数的特性，同时配合预加热处理，使激光诱导的瞬态应力大幅削弱，从而使打孔后玻璃基板上的裂纹和缺陷显著降低；同时，该方法能够很好的控制得到预期厚度的玻璃基板，避免了传统浸蚀方式所带来的不确定性损失。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 玻璃 加工 方法 | ||
【主权项】：
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