[发明专利]一种台阶针孔深度测量装置及其测量方法有效
| 申请号： | 202111098083.9 | 申请日： | 2021-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN113865502B | 公开（公告）日： | 2022-08-05 |
| 发明（设计）人： | 莫宗杰;陈播;杨德;陈龙;李明超 | 申请（专利权）人： | 珠海市精实测控技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/22 | 分类号： | G01B11/22 |
| 代理公司： | 北京精金石知识产权代理有限公司 11470 | 代理人： | 陈伟 |
| 地址： | 519125 广东省珠海市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及台阶针孔深度检测技术领域，具体涉及一种台阶针孔深度测量装置，包括测量模组、驱动模组和电控模组；所述测量模组设置在驱动模组上，驱动模组能够驱动测量模组分别沿X向、Y向、Z向移动，所述驱动模组下方设置电控模组；所述测量模组下方设置被测板卡；本发明还提供一种台阶针孔深度测量方法。本发明利用测力传感器测量探针的弹力值，自动化、高精度的确定台阶孔的台阶面和底面的高度值，进而得出台阶孔的深度，测量效率高，有效保证被测板卡测试过程中，探针精确的压缩行程，有效防止探针压缩行程过大导致的探针寿命缩短以及压缩行程过小导致的探针与被测点之间阻抗不稳的问题，并且整个测量过程不会对被测板卡造成损伤。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 台阶 针孔 深度 测量 装置 及其 测量方法 | ||
【主权项】：
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