[发明专利]高效超精密力流变抛光方法在审

专利信息
申请号: 202111098365.9 申请日: 2021-09-18
公开(公告)号: CN113787383A 公开(公告)日: 2021-12-14
发明(设计)人: 袁巨龙;吕冰海;王佳焕 申请(专利权)人: 杭州智谷精工有限公司;浙江工业大学;新昌浙江工业大学科学技术研究院
主分类号: B24B1/00 分类号: B24B1/00;B24B31/112;C09G1/02
代理公司: 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 代理人: 陈振华
地址: 311100 浙江省杭州市余杭*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 高效超精密力流变抛光方法,抛光时,工件与力流变抛光液做相对运动;所述力流变抛光液在剪切力作用下具有非线性流变特性,成分包括分散介质、固相粒子、磨粒、吸附相、热稳定相和缓释相;所述吸附相吸附磨粒形成“磨粒球”;抛光过程中:所述缓释相均匀释放化学试剂维持抛光液中化学试剂浓度的稳定,化学试剂与工件反应在工件表面生成反应膜;在工件与抛光液相对运动产生的剪切力作用下,抛光液与工件接触界面形成贴合工件面形的流变层,流变层中的固相粒子发生团聚,并将“磨粒球”包裹后形成粒子团,粒子团与工件相对运动实现所述反应膜的去除;所述热稳定相吸收抛光过程产生的热量,维持抛光液温度和黏度的稳定。
搜索关键词: 高效 精密 流变 抛光 方法
【主权项】:
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