[发明专利]一种增强太阳能背板水蒸气阻隔性的方法在审
申请号: | 202111104757.1 | 申请日: | 2021-09-22 |
公开(公告)号: | CN113921631A | 公开(公告)日: | 2022-01-11 |
发明(设计)人: | 许佳辉;张圳;柳翠;袁晓 | 申请(专利权)人: | 上海玻纳电子科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/048 | 分类号: | H01L31/048;H01L31/049;C23C16/40;C23C16/455 |
代理公司: | 上海顺华专利代理有限责任公司 31203 | 代理人: | 李鸿儒 |
地址: | 201102 上海市闵行*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: |
本发明公开了一种增强太阳能背板水蒸气阻隔性的方法,包括以下步骤:将支撑基材层所用材料放入到原子层沉积设备中,在支撑基材层的上面沉积无机氧化物获得无机氧化物薄膜上层,在支撑基材层的下面沉积无机氧化物获得无机氧化物薄膜下层,得到高水蒸气阻隔性太阳能背板支撑基材;然后将高水蒸气阻隔性太阳能背板支撑基材的一面与耐候氟碳薄膜层材料使用粘结剂进行复合,得到高水蒸气阻隔性的太阳能背板;以市售常规180微米厚的PET基材为例,其水蒸气透过率为1.746g/m |
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搜索关键词: | 一种 增强 太阳能 背板 水蒸气 阻隔 方法 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的