[发明专利]一种晶棒提拉防脱落抱夹装置有效
| 申请号： | 202111105794.4 | 申请日： | 2021-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN113832538B | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 胡文祥;李万朋;卢维平;李阳;张忠涛;段世飞;尹嘉琦;高畅;孔奕人 | 申请（专利权）人： | 连城凯克斯科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/32 | 分类号： | C30B15/32;C30B29/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明属于硅棒制备领域，具体的说是一种晶棒提拉防脱落抱夹装置，包括主室和副室,所述主室的内部安装有坩埚，坩埚的内部放置有熔液，副室的内部活动安装有提拉头，提拉头的底端安装有子晶，子晶和熔液之间形成晶棒主体，晶棒主体包括抱夹头，副室的内部活动安装有与抱夹头对应的保护爪，工作时，在提拉晶棒主体上至保护爪的位置时，启动保护爪卡在抱夹头的外侧，然后保护爪和晶棒主体同步上升，直到晶棒主体生产完成，在这个过程中，如果一旦子晶发生断裂，则下方的保护爪会直接接住晶棒主体，避免了晶棒主体跌落后带来的各种危险，且保护爪不与晶棒主体直接接触，避免了对晶棒生产造成影响的情况。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶棒提拉防 脱落 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于连城凯克斯科技有限公司，未经连城凯克斯科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202111105794.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
