[发明专利]一体化柔性微纳电感及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202111113391.4 申请日: 2021-09-23
公开(公告)号: CN113871125A 公开(公告)日: 2021-12-31
发明(设计)人: 王军强;张文武;张岩;曹小文;向明亮;许巍;霍军涛 申请(专利权)人: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
主分类号: H01F1/153 分类号: H01F1/153;H01F41/02;H01F17/04
代理公司: 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 代理人: 刘诚午
地址: 315201 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明公开了一种一体化柔性微纳电感及其制备方法,涉及基于激光刻蚀方法的非晶纳米晶微纳电感器件的制备。制备方法包括:制备非晶纳米晶合金;基于高精度高功率激光刻蚀加工方法,按照应用场景、形状及尺寸的需求,对所述非晶纳米晶合金进行与磁芯结构直接结合的一体化激光精细刻蚀加工,制备得到微纳尺度的一体化柔性电感器件。
搜索关键词: 一体化 柔性 电感 及其 制备 方法
【主权项】:
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